陕西先进光子器件工程创新平台全面启用

时间： 2023-03-31 02:00     

陕西光电子先导院先进光子器件创新平台3月30日在西安全面启用。该平台具备光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项核心工艺，将为光子产业项目提供产品研发、中试、检测等全流程技术服务，为光子产业各类创新主体打通从产品研发到市场化批量供货的完整链条。该平台的启用，标志着陕西向打造具有全球影响力的光子产业生态高地的战略目标又迈出了坚实的一步，将吸引更多光子产业创新要素汇聚陕西，培育一批具有先发优势和全球竞争力的光子产业冠军企业，推动光子产业向集群化、规模化、高产值化发展。

据悉，先进光子器件工程创新平台占地30亩，建有中试车间、中试大楼、综合楼和动力站等研发和中试配套设施，将有效解决第三代化合物半导体芯片制造的外延生长与制程等关键问题。该平台通过与创新企业持续进行联合研发，光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项核心工艺技术不断攻克，平台软硬件建设已不断完善，将持续助力光子产业链上下游企业聚集。

陕西光电子先导院于2015年10月，由陕西省科技厅、西安高新技术开发区与中国科学院西安光机所联合发起成立。目前，陕西光电子先导院已培育和聚集了近百家光子产业企业，入驻光电子领域企业30余家，成为光子领域一流的创新生态和创新高地，在全球光子产业中与国外保持同步。

陕西光电子先导院先进光子器件创新平台作为陕西省2022年重点建设工程，整体用一年的时间完成了从供地到投产的全流程。未来，陕西光电子先导院将立足光子制造、光子材料与芯片、光子传感三大重点领域，紧密融合秦创原创新驱动平台，在加快统筹谋划“追光计划”的过程中，积极探索光子领域“新型举国体制”的实践经验，引领光电行业发展，拥抱“光子时代”。

中国科学院西安分院院长赵卫表示：“希望陕西光电子先导院先进光子器件创新平台启用后，能够吸引更多光子产业创新要素汇聚陕西，攻关一批引领未来的关键核心技术，培育一批具有先发优势和全球竞争力的光子产业冠军企业，推动光子产业进一步向集群化、规模化发展。”（经济日报记者 佘惠敏）